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SOI600系列半自動光學缺陷檢測設備


SOI600

SOI600系列產品是半自動光學缺陷檢測設備,對晶圓表面進行缺陷目檢,宏觀、微觀拍照,缺陷Review等,改善工藝良率。SOI600產品主要用于前道IC制造產線的ADI、AEI、API和OQC等工藝段。
  產品特征

豐富的成像照明系統

具備豐富的成像照明配置:物鏡凸輪包含5個卡槽,可預裝1X、2X、3.5X、5X、10X、20X、50X或100X等倍率的物鏡,像素分辨率最高可達27.5nm,可切換明暗、暗場、熒光場照明,可調整照明光強等。

多角度拍照

支持晶圓宏觀多角度翻轉、旋轉,可進行晶圓正面、背面、邊緣缺陷拍照和高清動態顯示。

高產率、低成本

高效的全自動晶圓傳輸系統,大行程、高精度、高速步進運動臺,有效提升了檢測產率,降低用戶的使用成本。

支持多種物料接口

可支持6寸、8寸和12寸標準notch晶圓,支持SMIF、Open Cassette、FOUP和FOSB等多種物料接口。支持OHT天車對接,并配備安全光柵。

友好的軟件交互界面

基于Linux平臺開發的檢測軟件,操作便利,交互友好。支持EAP工廠遠程自動化生產控制,支持宏觀、微觀拍照,Klarf文件導入解析、缺陷Review、分類、排序等。