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SOI800系列全自動光學缺陷檢測設備


SOI800

SOI800系列產品是全自動光學缺陷檢測設備,對晶圓的表面圖形進行掃描,自動識別其中的缺陷并且將找到的缺陷加以分類。SOI800系列產品可以極大程度地提高晶圓制造過程中的工藝控制能力。SOI800系列產品主要用于前道IC制造產線的ADI、AEI、API和OQC等工藝段。
  產品特征

豐富的成像照明系統

具備豐富的成像照明配置:物鏡凸輪包含5個卡槽,可預裝1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X等倍率的物鏡,可切換明、暗場照明,可調整照明光強、照明光源波長等。

無實體硅片處方編輯

支持Waferless無實體硅片處方編輯,EAP工廠遠程自動化生產控制,iADC在線自動缺陷分類等功能。基于Windows平臺開發的自動光學檢測軟件,操作便利,交互友好。

高產率、低成本

高效的全自動晶圓傳輸系統,大行程、高精度、高速掃描運動臺,有效提升了檢測產率;單位面積產率高;降低用戶的使用成本。

智能檢測

先進的Smart Detection自動檢測軟件,配備Die to Die、Die to Standard、Cell to Cell和Macro等多種檢測算法,能夠高效識別低對比度及復雜背景下的微小缺陷,保證有高檢出率、高重復檢出率和低誤檢率。可支持裸片檢測,能夠檢出1μm的缺陷。

晶背和晶邊缺陷檢測

可配置晶背和晶邊缺陷檢測功能,分辨率分別為20μm、1μm,獨立模塊設計,有效提升了晶圓全表面的良率控制。

明、暗場同步掃描檢測

獨立自主開發的明場、暗場同步掃描檢測,自動調焦,分辨率可達到1μm,顯著提升了檢測精度和檢測效率。

支持多種物料接口

可支持8寸和12寸標準notch硅片,支持SMIF、Open Cassette、FOUP、和FOSB等多種物料接口。支持OHT天車對接,并配備安全光柵。